EDP Excellent Diamond Products

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製造技術

製造技術

ダイヤモンド単結晶の製造は、マイクロ波プラズマCVD法を用いて、ダイヤモンド単結晶を種として成長を行います。既に大型の結晶を開発済みの当社は、これを用いて10x10mmの大型の単結晶を製造できます。また、種結晶と成長した結晶を分離する技術によって、種結晶を何度も使用でき、製造コストを下げることに成功しています。

3つの基本技術

  • 1)マイクロ波プラズマCVD法で成長し、高純度のダイヤモンド単結晶を製造
  • 2)大型の種結晶を使い、イオン注入を使った分離技術で、成長した単結晶を取り出せる。薄板状の単結晶を、安価に大量生産ができる。
  • 3)上記の技術を使い複数の単結晶を横に接続した、モザイク結晶を製造している。

EDPの生産技術

EDPの生産技術
粒状の単結晶を加工するのに比べ、工程が短く安価に加工できます。
一つ一つの単結晶の大きさには限界があり、大きな基板として使用するため、複数の結晶を横に接合したもの、開発しました。この結晶を、「モザイク結晶」と呼んでいます。
結晶方位をそろえた複数枚の単結晶を並べ、一緒にその上に成長層を作ると、複数個の結晶が横につながります。異なる成長履歴の単結晶同士を並べた場合、境界に黒い多結晶領域が出来てしまいます。当社では、分離技術を使って、同じ種結晶から複数枚の単結晶を作り、これを横に並べて接続します。並べた単結晶は、お互いが双子や三つ子の様な関係となり、境目が非常にきれいなモザイク結晶が出来ます。この技術を使って、現在は1インチ(25x25mm)の基板が出来ていますが、将来は2インチ等の大型基板を開発していく計画です。

大型モザイク単結晶の製造法

大型モザイク単結晶の製造法
当社は分離技術によって、境界がほとんど見えないモザイク結晶を作ることが可能です
単結晶同士を横に接合したものを「モザイク結晶」と呼んでいます。
結晶方位をそろえた複数枚の単結晶を並べ、一緒にその上に成長層を作ると、複数個の結晶がつながります。しかし、異なる成長履歴の単結晶同士を並べた場合、境界に黒い多結晶領域が出来てしまいます。当社の分離技術で複数枚の単結晶を作ると、お互いが双子や三つ子の様な関係となり、これらを並べてその上に成長することで、境界がほとんど見えないモザイク結晶を作ることが出来ます。この技術を使って、現在は1インチ(25x25mm)の基板が出来ていますが、将来は2インチ等の大型基板を開発していく予定です。

関連項目

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当社は、優れた物性を兼ね備えるダイヤモンドを広くご利用いただくために、最も理想的な特性が発揮できる単結晶を供給しています。まずはお気軽にご相談ください。

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